MEMS技術特征：

• 微型化、以硅為主要材料
• 機械電氣性能優(yōu)良、可批量生產(chǎn)、集成化
• 多學科交叉、多技術融合的特點

MEMS技術的應用范圍：

• 開辟了一個全新醫(yī)療電子產(chǎn)業(yè)

MEMS是受微電子技術啟發(fā)并在其基礎上發(fā)展起來的，是微電子加工技術和多種微機械加工技術相融合而形成的微型系統(tǒng)。完整的MEMS是由感知外界信息(力、熱、光、生、磁、化等)的微傳感器、控制對象的微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。MEMS具有集成電路系統(tǒng)的許多優(yōu)點，如微型化、以硅為主要材料，機械電氣性能優(yōu)良、可批量生產(chǎn)、集成化等，同時又集約了機械、材料、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科發(fā)展的尖端成果，具有多學科交叉，多技術融合的特點。

在醫(yī)療電子應用領域，MEMS技術的目標是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集成在一起，組成具有多功能的微型系統(tǒng)，這樣不僅可以降低機電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務，也可以嵌入大尺寸系統(tǒng)中，從而大幅度地提高系統(tǒng)的自動化、智能化和可靠性水平。MEMS技術開辟了一個全新醫(yī)療電子產(chǎn)業(yè)。

大多數(shù)業(yè)內(nèi)觀察家預測，未來5年MEMS醫(yī)療器件的銷售額將呈迅速增長之勢，年平均增加率約為21%，因此對醫(yī)療電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了極好的機遇。

MEMS已從實驗室走向市場，在醫(yī)療電子領域的應用日益普遍，其產(chǎn)品不僅開拓了極為廣泛的應用領域且具有十分強大的市場競爭力，醫(yī)療電子和診斷設備為MEMS的應用提供了更大的舞臺。