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微小型近紅外光譜儀及其應(yīng)用

發(fā)布時間:2022-11-15 來源:MEMS 責(zé)任編輯:wenwei

【導(dǎo)讀】近些年,近紅外光譜分析技術(shù)得到了迅猛發(fā)展,該技術(shù)可直接對氣體、液體和固體等各種復(fù)雜混合物進(jìn)行定性和定量分析,具有分析速度快、效率高,可實(shí)現(xiàn)無損和在線分析等優(yōu)勢,在科研和工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮著越來越重要的作用。近紅外光譜分析儀的微小型化是一個重要的發(fā)展方向,近期出現(xiàn)了眾多不同類型的商品化微小型近紅外光譜儀器。手持式或便攜式現(xiàn)場快速分析是一種更經(jīng)濟(jì)、更高效、更靈活的方法,具有小體積、低功耗、低成本、便于二次開發(fā)等優(yōu)點(diǎn),在農(nóng)業(yè)、食品、醫(yī)藥、石油化工和安全等眾多領(lǐng)域獲得了廣泛的研究與應(yīng)用。物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)在智能農(nóng)業(yè)、智能工廠、智能醫(yī)療和智慧城市等眾多領(lǐng)域的興起,成為推動近紅外光譜傳感器向著微型化方向發(fā)展的主要力量。


據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,中石化石油化工科學(xué)研究院的研究人員在《分析測試學(xué)報》期刊上發(fā)表了題為“微小型近紅外光譜儀的應(yīng)用進(jìn)展與展望”的綜述文章,通訊作者為褚小立教授級高工,主要從事光譜分析與化學(xué)計量學(xué)方法研究與應(yīng)用。


該文主要綜述了近些年新型的商品化微小型(便攜式、手持式和袖珍式)近紅外光譜儀器及其應(yīng)用進(jìn)展,并對該技術(shù)的發(fā)展趨勢和應(yīng)用前景進(jìn)行了展望。


微小型儀器的分光類型


與以傅里葉變換和光柵掃描為主的實(shí)驗(yàn)室臺式近紅外光譜儀相比,便攜式近紅外光譜儀呈現(xiàn)出光學(xué)設(shè)計多樣化和新穎性的特點(diǎn),為了保證分光器件的緊湊,這類儀器最明顯的性能特點(diǎn)是較窄的光譜掃描范圍和較低的光譜分辨率,并在微型化、光譜性能和儀器成本之間尋求平衡。近些年新型商品化的便攜式近紅外光譜儀的分光類型主要有阿達(dá)瑪變換(Hadamard-transform,HT)、數(shù)字微鏡陣列(Digital micromirror device,DMD)、法布里-珀羅干涉儀(Fabry-Perot,F(xiàn)PI)和線性漸變?yōu)V波器(Linear variable filter,LVF)等。


阿達(dá)瑪變換型光譜儀以一個可編程控制的阿達(dá)瑪變換MEMS芯片為核心分光器件(如圖1所示),使用單點(diǎn)檢測器。這類儀器的特點(diǎn)是光通量大,信噪比高,可以在短時間內(nèi)獲得高質(zhì)量的光譜,但光譜范圍相對較窄。美國Thermo公司的MicroPHAZIR便攜式近紅外光譜儀采用這種分光方式。


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圖1 MEMS阿達(dá)瑪變換光譜儀示意圖


基于MEMS數(shù)字微鏡陣列的色散光譜調(diào)制器,既可實(shí)現(xiàn)順序掃描、間隔掃描,也可以通過編碼調(diào)制的方式實(shí)現(xiàn)阿達(dá)瑪變換掃描(如圖2所示),使用單點(diǎn)檢測器。這類儀器具有抗振動能力強(qiáng)、溫度適應(yīng)性好、光譜分辨率可調(diào)等特點(diǎn)。美國Texas Instruments的NIRscan微型近紅外光譜采用這種分光方式。加拿大Tellspec公司使用DMD芯片研發(fā)了手持式微型近紅外光譜食物成分分析儀。


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圖2 MEMS數(shù)字微鏡陣列光譜儀光路示意圖


法布里-珀羅干涉儀是由兩塊平行的玻璃板組成的多光束干涉儀,兩塊玻璃板相對的內(nèi)表面均具有高反射率,當(dāng)入射光的頻率滿足共振條件時,其透射頻譜將出現(xiàn)很高的峰值,對應(yīng)著高的透射率,通過改變兩塊玻璃之間的距離即可獲得不同頻率(波長)的單色光(圖3)。這種儀器的特點(diǎn)是體積小、重量輕,易于批量化生產(chǎn),但光譜范圍相對較窄。芬蘭Spectral Engines公司的NIR ONE系列光譜儀產(chǎn)品采用這種分光方式,日本Hamamatsu公司也研制出了類似的產(chǎn)品,波長范圍為1550~1850nm,光譜儀的重量在1g左右。


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圖3 法布里-珀羅干涉儀原理示意圖


線性漸變?yōu)V光片是一種特殊的帶通濾光片,在制作時向特定方向形成楔形鍍層(圖4)。由于通帶的中心波長與膜層厚度相關(guān),因此濾光片的穿透波長將向楔形方向線性變化。與陣列式探測器的結(jié)合使得這類儀器結(jié)構(gòu)非常緊湊,具有優(yōu)良的抗振動性和極快的掃描速度。美國Viavi公司的MicroNIR微型近紅外光譜儀采用了這種分光方式。


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圖4 線性漸變?yōu)V光片分光原理示意圖


MEMS傅里葉變換干涉儀將所有光學(xué)和機(jī)械組件集成在單個MEMS芯片上,甚至可以將微鏡直接和光子探測器及光源集成在一起,從而實(shí)現(xiàn)芯片級傅里葉變換光譜儀功能,如圖5所示。這種儀器具有光譜范圍寬、性價比高等特點(diǎn),但與傳統(tǒng)傅里葉變換光譜儀相比,其分辨率和信噪比相對較差。埃及Si-Ware公司的NeoSpectra微型光譜儀采用的這種分光方式。


18.jpg圖5 MEMS傅里葉變換干涉儀芯片結(jié)構(gòu)示意圖


除了上述新型的分光方式外,還有一些基于傳統(tǒng)分光方式的便攜式近紅外光譜儀器。如基于固定光柵和陣列檢測器光學(xué)設(shè)計的AURA手持式近紅外光譜儀(德國Carl Zeiss公司)、StellarCASE便攜式近紅外光譜儀(美國StellarNet公司),以及多款果品專用的便攜式近紅外光譜儀,如F-750手持式果品品質(zhì)分析儀(美國Felix公司)、K-BA100R分析儀(日本Kubota公司)、FQA-NIR Gun分析儀(日本Fantec公司)和DA-Meter分析儀(意大利Sinteleia SrL公司)等。我國相關(guān)單位也在微型近紅外光譜儀的研制方面做了大量的工作,且已有商品化的微型近紅外光譜儀器面世,例如無錫迅杰光遠(yuǎn)、廣州星創(chuàng)、杭州聚光等。


應(yīng)用方向


近些年,微小型近紅外光譜儀器與智能手機(jī)、云計算和物聯(lián)網(wǎng)等的結(jié)合越來越緊密,為其廣泛應(yīng)用提供了無限可能,其在各領(lǐng)域的應(yīng)用詳見論文。


農(nóng)業(yè)與林業(yè)


微小型近紅外光譜儀器在農(nóng)業(yè)(例如土壤、飼料、果品等方面)與林業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用,其中在果品分析中的應(yīng)用最為廣泛和成熟。


食品與藥品


微小型近紅外光譜儀在食品和藥品中的應(yīng)用主要集中在摻假鑒別、真?zhèn)我约邦悇e識別方面。


刑偵安全


在法庭科學(xué)領(lǐng)域,微小型近紅外光譜儀已應(yīng)用于刑事案件、交通肇事案件等有關(guān)物證的分析,作為預(yù)篩選樣本檢測的一種手段,可以快速幫助犯罪現(xiàn)場的調(diào)查。


其它


除上述應(yīng)用外,微小型近紅外光譜儀還在醫(yī)學(xué)、礦物、文物等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。


展望


國際上近紅外光譜分析儀器的微小型化是一個重要的發(fā)展方向,市場上已經(jīng)出現(xiàn)了多種微小型的近紅外光譜儀。物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)成為推動近紅外光譜傳感器向著微型化方向發(fā)展的主要力量。但是,由于便攜式儀器受波長范圍等性能指標(biāo)所限,例如儀器的波段較窄,分辨率較寬,儀器之間的一致性也相對較差,一些應(yīng)用尚達(dá)不到實(shí)驗(yàn)室臺式儀器的效果。


但可以預(yù)見的是,隨著新原理、新材料和新加工制作技術(shù)的發(fā)展,不論何種分光方式的便攜式近紅外光譜儀,其針對特定應(yīng)用場景的特定性能將得到進(jìn)一步改進(jìn)和優(yōu)化,各種類型儀器的整體性能也將會越來越好。


微型近紅外光譜儀也將在多波段、多光譜數(shù)據(jù)融合方面扮演越來越重要的角色。除光譜儀硬件的改進(jìn)外,化學(xué)計量學(xué)算法的提升也不容忽視。此外,為保證微小型光譜儀的性能在應(yīng)用過程中得到保證,建立儀器安裝和運(yùn)行確認(rèn)(IQOQ)程序也非常重要。


在應(yīng)用方面,微小型近紅外光譜儀作為物聯(lián)網(wǎng)節(jié)點(diǎn)的核心感知部件之一,在食品和藥品等人們?nèi)粘S闷分械膽?yīng)用將會越來越廣泛。未來微小型近紅外光譜儀器與智能手機(jī)和云平臺的緊密結(jié)合,將使數(shù)據(jù)傳輸和存儲更加靈活和便捷,也將為大數(shù)據(jù)分析和應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。因此,可以預(yù)期,未來微型近紅外光譜儀器的用戶主體將不是光譜分析工作者,而是普通的消費(fèi)者,即消費(fèi)級的應(yīng)用將占主體。


本研究項(xiàng)目獲得了國家重點(diǎn)研發(fā)計劃項(xiàng)目(2017YFB0306501)的支持。


來源:MEMS



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