圖1：ASMI 中國業(yè)務(wù)開發(fā)總監(jiān)徐來

 

事實(shí)上，在全球半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)中有兩家名稱中含有 ASM 的著名設(shè)備供應(yīng)商，分別是 ASMI 和 ASM PT，目前均為上市公司。這兩家公司由同一創(chuàng)始人成立，ASMI 和 ASMPT 目前是獨(dú)立運(yùn)營的，ASMI 主攻前段工序，ASMPT 主攻后段工序。兩者唯一的關(guān)系在于 ASMI 是 ASMPT 最大的持股者，前者持有后者 25% 的股份。

 

ASMI 于 1968 年在荷蘭成立，是全球前十大設(shè)備供應(yīng)商之一。目前，ASMI 在全球 7 個(gè)國家設(shè)有研發(fā)中心和生產(chǎn)基地，擁有 1900 名員工。而 ASMI 中國總部位于上海，并在全國各地設(shè)有服務(wù)和支持的地點(diǎn)，還有面向先進(jìn)技術(shù)研發(fā)的本地工藝工程支持。同時(shí)，公司也在本地存儲零部件以保證能快速服務(wù)客戶的需求。

 

 

據(jù)徐來介紹，ASMI 最大的優(yōu)勢就是 ALD 工藝，同時(shí) ASMI 也是全球市占率最高的 ALD 工藝設(shè)備供應(yīng)商。據(jù)公開資料顯示，ALD 設(shè)備是先進(jìn)集成電路制造工藝中必不可缺少的薄膜沉積設(shè)備，ALD 工藝具有工藝溫度低、薄膜厚度控制精確及臺階覆蓋率高等優(yōu)點(diǎn)。

 

目前，ASMI 和許多中國芯片制造商合作，并已安裝了諸多設(shè)備，從低于 200mm 到 300mm 制造。面向的應(yīng)用有邏輯/代工廠、存儲和模擬制造還有晶圓市場。在中國已用于生產(chǎn)的平臺有原子層沉積（ALD）、增強(qiáng)等離子體化學(xué)氣象沉積（PECVD）、立式爐（Vertical Furnace）、外延設(shè)備（Epitaxy）。

 

據(jù)悉，ASMI 不僅在韓國，日本和美國設(shè)有研發(fā)中心，在比利時(shí)和芬蘭也分別設(shè)有研發(fā)中心。

同時(shí)，徐來表示，"我們與其他設(shè)備廠最大的差異在于：ASMI有自己的工藝集成中心（比利時(shí)）。當(dāng)我們在做先進(jìn)制程研究時(shí)會發(fā)現(xiàn)一些應(yīng)用，發(fā)現(xiàn)應(yīng)用之后便有了對相關(guān)材料的需求，然后反饋給我們在芬蘭的材料研究中心，研究出相應(yīng)的材料支持工藝。最后，反饋給事業(yè)部來根據(jù)要求制造設(shè)備、提供給客戶，再根據(jù)客戶需求更新設(shè)備。"

 

 

根據(jù) SEMI（國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會）于 2018 年 2 月 28 日公布的"全球晶圓廠預(yù)測報(bào)告"最新內(nèi)容中指出，2019 年全球晶圓廠設(shè)備支出將增加 5%，連續(xù)第四年呈現(xiàn)大幅成長。除非原有計(jì)劃大幅變更，中國大陸將是 2018、2019 年全球晶圓廠設(shè)備支出成長的主要推手。

 

圖2：全球晶圓廠設(shè)備支出預(yù)測

 

SEMI 預(yù)測，2018 和 2019 年全球晶圓廠設(shè)備支出將以三星居冠，但投資金額都不及 2017 年的高點(diǎn)。相較之下，為支持跨國與本土的晶圓廠計(jì)劃，2018 年中國大陸的晶圓廠設(shè)備支出較前一年將大幅增加 57%，2019 年更高達(dá) 60%。 中國大陸設(shè)備支出金額預(yù)計(jì)于 2019 年超越韓國，成為全球支出最高的地區(qū)。

 

"正是因?yàn)榭吹街袊袌鰪?qiáng)勁的增長表現(xiàn)，ASMI 從去年開始做了很多改變，加強(qiáng)了市場拓展和客戶服務(wù)。"徐來表示，"實(shí)際上，ASMI 進(jìn)入中國已經(jīng) 20 年，目前為止在中國的裝機(jī)容量約為 200 臺，涵蓋了中國所有的客戶?，F(xiàn)在重慶、徐州、廣州、青島等地都有新的客戶增加，所以相應(yīng)的團(tuán)隊(duì)也要不停的擴(kuò)充。"

 

徐來認(rèn)為，"ASMI 已經(jīng)在全球得到很多認(rèn)可，是英特爾和臺積電的最佳供應(yīng)商。未來隨著中國業(yè)務(wù)的增加，相信我們在中國也會得到更多的國內(nèi)客戶的認(rèn)可。"