- 功率元件用SiC底板品質(zhì)不斷提高,價(jià)格也在不斷下降
- SiC底板紛紛亮相研究會(huì)
- 4英寸底板已不再特殊
功率元件用SiC底板不僅品質(zhì)不斷提高,價(jià)格也在不斷下降。雖然從事SiC功率元件的廠商增多帶來(lái)了需求擴(kuò)大,但降價(jià)的主要原因在于提供好品質(zhì)底板的廠商增多,“開(kāi)始出現(xiàn)價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)”(多家底板廠商)。據(jù)某家底板廠商介紹,雖然價(jià)格根據(jù)結(jié)晶缺陷密度等品質(zhì)而有所不同,但“直徑為3英寸(75mm)的產(chǎn)品在大量購(gòu)買時(shí)價(jià)格已經(jīng)只有7萬(wàn)日元左右。而去年還約為10萬(wàn)日元”。也就是說(shuō),價(jià)格在以每年30%左右的幅度下降。
還有多家廠商在銷售“外延底板”,這種底板上不僅層疊有SiC底板,還層疊有外延層。日本國(guó)內(nèi)的主要外延底板廠商是昭和電工。該公司已經(jīng)上市4英寸外延底板。該公司是從其他公司采購(gòu)SiC底板,層疊上外延層后銷售。
外延底板的價(jià)格方面,“外延層的厚度為10μm左右,價(jià)格是3英寸底板的大約2倍”(多家外延底板廠商)。
SiC底板紛紛亮相研究會(huì)
在此背景下,與2009年12月17~18日舉行的“第18屆SiC及寬帶隙半導(dǎo)體研究會(huì)”同時(shí)舉辦的展會(huì)上,有多家企業(yè)展出了SiC底板(4H型)和外延底板。
東麗道康寧自信地表示“品質(zhì)不亞于頂尖廠商(美國(guó)科瑞)”(解說(shuō)員)(圖1、2)。該公司同時(shí)還在銷售美國(guó)道康寧的SiC底板(參閱本站報(bào)道)。3英寸的4H型SiC底板保證微管密度不超過(guò)3個(gè)/cm2。“實(shí)際上為大約0.2個(gè)/cm2”(該解說(shuō)員)。2009年5月以后,通過(guò)大幅改善制造工藝底板品質(zhì)得到了提高。除去微管,錯(cuò)位等缺陷的密度在5000~7000個(gè)/cm2左右。底板表面上的結(jié)晶缺陷占整個(gè)底板的5~15%。
除3英寸底板外,東麗道康寧還提供3英寸的外延底板。4英寸底板定于2010年1月、4英寸的外延底板定于7~9月銷售。而有關(guān)6英寸底板的銷售目標(biāo)則是2011年供應(yīng)樣品。
4英寸底板已不再特殊
SiC底板的大口徑化也在穩(wěn)步推進(jìn),目前已有多家廠商在提供4英寸底板。此次展會(huì)的參展企業(yè)有諸如代表美國(guó)II-VI參展的II-VI日本法人公司和德國(guó)SiCrystal等(圖3)。II-VI日本展出了微管密度標(biāo)準(zhǔn)為1.3個(gè)/cm2、優(yōu)質(zhì)品為0個(gè)的“無(wú)微管”4H型SiC底板。微管除外的錯(cuò)位等缺陷密度低于1萬(wàn)個(gè)/cm2。
雖然尚無(wú)銷售計(jì)劃,但直徑5英寸的底板已經(jīng)開(kāi)發(fā)完成。今后將進(jìn)一步增大直徑,目標(biāo)是2012年左右銷售6英寸直徑的產(chǎn)品。另外,II-VI日本今后將進(jìn)一步擴(kuò)大業(yè)務(wù)。“力爭(zhēng)到2014~2015年左右,銷量達(dá)到現(xiàn)在的9倍”(II-VI日本的解說(shuō)員)。另外,該公司表示沒(méi)有涉足外延底板的計(jì)劃。
德國(guó)SiCrystal的最大股東進(jìn)入2009年以后變成了羅姆。但SiCrystal底板的銷售跟以前一樣,仍不僅限于羅姆。會(huì)場(chǎng)上,該公司的日本銷售代理店(Ceramic Forum)展出了4英寸底板等(圖4、5)。3英寸和4英寸底板的高端產(chǎn)品中微管密度保證低于3個(gè)/cm2。
此外,作為銷售代理,日本New Metals & Chemicals還展出了北京天科合達(dá)藍(lán)光半導(dǎo)體制造的SiC底板。
圖1:東麗道康寧展出的SiC底板 圖2:東麗道康寧的展板 圖3:美國(guó)II-VI的SiC底板
右為功率元件用4H型,左為高頻元件用6H型
圖4:SiCrystal的4英寸底板 圖5:Ceramic Forum的展板