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電容傳感器的原理及應用
從能量轉(zhuǎn)換的角度而言，電容變換器為無源變換器，需要將所測的力學量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進行放大和處理。在有些條件下，這些力學量變化相當緩慢，而且變化范圍極小，如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率，其他傳感器很難做到實現(xiàn)高分辨率要求，在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳感器...
2008-10-11
電容傳感器 穩(wěn)定性 靈敏度 泰勒級數(shù)
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低頻光纖光柵加速度傳感器
本文設計了低頻光纖光柵加速度傳感器通過對其力學模型分析，建立了光纖光柵加速度傳感器的數(shù)學模型，得到了傳感器的加速度和光纖光柵波長變化間的關系．通過振動實驗，得到了在不同阻尼下光纖光柵加速度計的幅頻特性。
2008-10-10
光纖光柵 低頻 加速度傳感器
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傳感器中的電壓/電流、電壓/頻率變換的實現(xiàn)
在工業(yè)控制領域，檢測傳感器件起著越來越重要的作用，各種先進的傳感器正在大量應用。本文介紹的兩個轉(zhuǎn)換電路所需費用低，且結構簡單，調(diào)試方便，非常易于實現(xiàn)，并且經(jīng)過礦用監(jiān)測設備多次的實際現(xiàn)場應用，其對于國內(nèi)一般的煤礦安全監(jiān)測系統(tǒng)的接入信號的要求都能夠很好地滿足應用。
2008-10-10
傳感器 電壓/電流 電壓/頻率
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傳感器信號調(diào)理電路
傳感器信號不能直接轉(zhuǎn)換為數(shù)字數(shù)據(jù)，在變換為數(shù)字數(shù)據(jù)之前必須進行調(diào)理。本文介紹了傳感器信號調(diào)理電路的組成、性能、工作原理以及傳感器和放大器匹配電路等。
2008-10-10
信號調(diào)理 傳感器 放大器
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采用適合工藝技術制造硅MEMS振蕩器
MEMS振蕩器商用化的一個最大障礙是開發(fā)一種經(jīng)濟并足夠純凈的密閉封裝系統(tǒng)。本文展示了一種適用于MEMS振蕩器的制造工藝，以及一組可與傳統(tǒng)的石英晶體技術相媲美的測量數(shù)據(jù)。這些測量數(shù)據(jù)是目前為止得到的最穩(wěn)定的MEMS振蕩器數(shù)據(jù)。
2008-10-09
純凈 振蕩 頻率 穩(wěn)定
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固態(tài)混合電勢氣體傳感器的原理和應用
以混合電勢響應為基礎的固態(tài)高溫氣體傳感器為各種還原性氣體提供了一種簡單快速并且低成本的原位在線測量。這些傳感器響應機理因電極材料、電極微觀形貌等不同而有所變化，主要分為混合電勢與被測氣體濃度呈對數(shù)關系或者線性關系兩種類型。其響應行為取決于電極反應的Butler-Volmer動力學方程的具體...
2008-10-09
混合電勢 氧化 還原 傳感器
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MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制
大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預報、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器，整個流程工藝簡單標準，薄膜材料選擇單晶硅，采用接觸式結構，利用陽極鍵合形成真空腔，最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜并由試驗結...
2008-10-09
電容式壓力傳感器 敏感薄膜 KOH腐蝕
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表面橫波生物傳感器的靈敏度分析
近年來在生物檢測研究方面，聲表面波傳感器因具有體積小、重量輕、性能穩(wěn)定、價格便宜等優(yōu)點受到廣泛關注。本文將推導靈敏度、加工等方面對表面橫波傳感器靈敏度的影響，并進行相關分析。
2008-10-09
表面橫波傳感器 柵陣 生物檢測
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MEMS固態(tài)風速風向傳感器的設計與制作
本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風速風向傳感器的設計原理及軟件模擬結果，并依據(jù)理論與模擬結果設計了工藝流程，對設計的懸梁式測風傳感器進行了測量。
2008-10-08
MEMS固態(tài)風速風向傳感器 ANSYS CFD 工藝制作
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