傳感器的靜態(tài)特性的主要指標(biāo)有線性度、遲滯、重復(fù)性、靈敏度和準(zhǔn)確度等。傳感器的動(dòng)態(tài)特性則指的是對(duì)于輸入量隨著時(shí)間變化的響應(yīng)特性。動(dòng)態(tài)特性通常采用傳遞函數(shù)等自動(dòng)控制的模型來(lái)描述。通常,傳感器接收到的信號(hào)都有微弱的低頻信號(hào),外界的干擾有的時(shí)候的幅度能夠超過被測(cè)量的信號(hào),因此消除串入的噪聲就成為了一項(xiàng)關(guān)鍵的傳感器技術(shù)。
⒈物理傳感器
物理傳感器是檢測(cè)物理量的傳感器。它是利用某些物理效應(yīng),把被測(cè)量的物理量轉(zhuǎn)化成為便于處理的能量形式的信號(hào)的裝置。其輸出的信號(hào)和輸入的信號(hào)有確定的關(guān)系。主要的物理傳感器有光電式傳感器、壓電傳感器、壓阻式傳感器、電磁式傳感器、熱電式傳感器、光導(dǎo)纖維傳感器等。作為例子,讓我們看看比較常用的光電式傳感器。這種傳感器把光信號(hào)轉(zhuǎn)換成為電信號(hào),它直接檢測(cè)來(lái)自物體的輻射信息,也可以轉(zhuǎn)換其他物理量成為光信號(hào)。
其主要的原理是光電效應(yīng):當(dāng)光照射到物質(zhì)上的時(shí)候,物質(zhì)上的電效應(yīng)發(fā)生改變,這里的電效應(yīng)包括電子發(fā)射、電導(dǎo)率和電位電流等。顯然,能夠容易產(chǎn)生這樣效應(yīng)的器件成為光電式傳感器的主要部件,比如說光敏電阻。這樣,我們知道了光電傳感器的主要工作流程就是接受相應(yīng)的光的照射,通過類似光敏電阻這樣的器件把光能轉(zhuǎn)化成為電能,然后通過放大和去噪聲的處理,就得到了所需要的輸出的電信號(hào)。這里的輸出電信號(hào)和原始的光信號(hào)有一定的關(guān)系,通常是接近線性的關(guān)系,這樣計(jì)算原始的光信號(hào)就不是很復(fù)雜了。其它的物理傳感器的原理都可以類比于光電式傳感器。
物理傳感器的應(yīng)用范圍是非常廣泛的,我們僅僅就生物醫(yī)學(xué)的角度來(lái)看看物理傳感器的應(yīng)用情況,之后不難推測(cè)物理傳感器在其他的方面也有重要的應(yīng)用。
比如血壓測(cè)量是醫(yī)學(xué)測(cè)量中的最為常規(guī)的一種。我們通常的血壓測(cè)量都是間接測(cè)量,通過體表檢測(cè)出來(lái)的血流和壓力之間的關(guān)系,從而測(cè)出脈管里的血壓值。測(cè)量血壓所需要的傳感器通常都包括一個(gè)彈性膜片,它將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)變成為膜片的變形,然后再根據(jù)膜片的應(yīng)變或位移轉(zhuǎn)換成為相應(yīng)的電信號(hào)。在電信號(hào)的峰值處我們可以檢測(cè)出來(lái)收縮壓,在通過反相器和峰值檢測(cè)器后,種傳感器外形我們可以得到舒張壓,通過積分器就可以得到平均壓。
讓我們?cè)倏纯春粑鼫y(cè)量技術(shù)。呼吸測(cè)量是臨床診斷肺功能的重要依據(jù),在外科手術(shù)和病人監(jiān)護(hù)中都是必不可少的。比如在使用用于測(cè)量呼吸頻率的熱敏電阻式傳感器時(shí),把傳感器的電阻安裝在一個(gè)夾子前端的外側(cè),把夾子夾在鼻翼上,當(dāng)呼吸氣流從熱敏電阻表面流過時(shí),就可以通過熱敏電阻來(lái)測(cè)量呼吸的頻率以及熱氣的狀態(tài)。
再比如最常見的體表溫度測(cè)量過程,雖然看起來(lái)很容易,但是卻有著復(fù)雜的測(cè)量機(jī)理。體表溫度是由局部的血流量、下層組織的導(dǎo)熱情況和表皮的散熱情況等多種因素決定的,因此測(cè)量皮膚溫度要考慮到多方面的影響。熱電偶式傳感器被較多的應(yīng)用到溫度的測(cè)量中,通常有桿狀熱電偶傳感器和薄膜熱電偶傳感器。由于熱電偶的尺寸非常小,精度比較高的可做到微米的級(jí)別,所以能夠比較精確地測(cè)量出某一點(diǎn)處的溫度,加上后期的分析統(tǒng)計(jì),能夠得出比較全面的分析結(jié)果。這是傳統(tǒng)的水銀溫度計(jì)所不能比擬的,也展示了應(yīng)用新的技術(shù)給科學(xué)發(fā)展帶來(lái)的廣闊前景。
從以上的介紹可以看出,僅僅在生物醫(yī)學(xué)方面,物理傳感器就有著多種多樣的應(yīng)用。傳感器的發(fā)展方向是多功能、有圖像的、有智能的傳感器。傳感器測(cè)量作為數(shù)據(jù)獲得的重要手段,是工業(yè)生產(chǎn)乃至家庭生活所必不可少的器件,而物理傳感器又是最普通的傳感器家族,靈活運(yùn)用物理傳感器必然能夠創(chuàng)造出更多的產(chǎn)品,更好的效益。
⒉光纖傳感器
近年來(lái),傳感器在朝著靈敏、精確、適應(yīng)性強(qiáng)、小巧和智能化的方向發(fā)展。在這一過程中,光纖傳感器這個(gè)傳感器家族的新成員倍受青睞。光纖具有很多優(yōu)異的性能,例如:抗電磁干擾和原子輻射的性能,徑細(xì)、質(zhì)軟、重量輕的機(jī)械性能,絕緣、無(wú)感應(yīng)的電氣性能,耐水、耐高溫、耐腐蝕的化學(xué)性能等,它能夠在人達(dá)不到的地方(如高溫區(qū)),或者對(duì)人有害的地區(qū)(如核輻射區(qū)),起到人的耳目的作用,而且還能超越人的生理界限,接收人的感官所感受不到的外界信息。
光纖傳感器是最近幾年出現(xiàn)的新技術(shù),可以用來(lái)測(cè)量多種物理量,比如聲場(chǎng)、電場(chǎng)、壓力、溫度、角速度、加速度等,還可以完成現(xiàn)有測(cè)量技術(shù)難以完成的測(cè)量任務(wù)。在狹小的空間里,在強(qiáng)電磁干擾和高電壓的環(huán)境里,光纖傳感器都顯示出了獨(dú)特的能力。目前光纖傳感器已經(jīng)有70多種,大致上分成光纖自身傳感器和利用光纖的傳感器。
所謂光纖自身的傳感器,就是光纖自身直接接收外界的被測(cè)量。外接的被測(cè)量物理量能夠引起測(cè)量臂的長(zhǎng)度、折射率、直徑的變化,從而使得光纖內(nèi)傳輸?shù)墓庠谡穹?、相位、頻率、偏振等方面發(fā)生變化。測(cè)量臂傳輸?shù)墓馀c參考臂的參考光互相干涉(比較),使輸出的光的相位(或振幅)發(fā)生變化,根據(jù)這個(gè)變化就可檢測(cè)出被測(cè)量的變化。光纖中傳輸?shù)南辔皇芡饨缬绊懙撵`敏度很高,利用干涉技術(shù)能夠檢測(cè)出10的負(fù)4次方弧度的微小相位變化所對(duì)應(yīng)的物理量。利用光纖的繞性和低損耗,能夠?qū)⒑荛L(zhǎng)的光纖盤成直徑很小的光纖圈,以增加利用長(zhǎng)度,獲得更高的靈敏度。
光纖聲傳感器就是一種利用光纖自身的傳感器。當(dāng)光纖受到一點(diǎn)很微小的外力作用時(shí),就會(huì)產(chǎn)生微彎曲,而其傳光能力發(fā)生很大的變化。聲音是一種機(jī)械波,它對(duì)光纖的作用就是使光纖受力并產(chǎn)生彎曲,通過彎曲就能夠得到聲音的強(qiáng)弱。光纖陀螺也是光纖自身傳感器的一種,與激光陀螺相比,光纖陀螺靈敏度高,體積小,成本低,可以用于飛機(jī)、艦船、導(dǎo)彈等的高性能慣性導(dǎo)航系統(tǒng)。
另外一個(gè)大類的光纖傳感器是利用光纖的傳感器。其結(jié)構(gòu)大致如下:傳感器位于光纖端部,光纖只是光的傳輸線,將被測(cè)量的物理量變換成為光的振幅,相位或者振幅的變化。在這種傳感器系統(tǒng)中,傳統(tǒng)的傳感器和光纖相結(jié)合。光纖的導(dǎo)入使得實(shí)現(xiàn)探針化的遙測(cè)提供了可能性。這種光纖傳輸?shù)膫鞲衅鬟m用范圍廣,使用簡(jiǎn)便,但是精度比第一類傳感器稍低。
光纖在傳感器家族中是后期之秀,它憑借著光纖的優(yōu)異性能而得到廣泛的應(yīng)用,是在生產(chǎn)實(shí)踐中值得注意的一種傳感器。
⒊仿生傳感器
仿生傳感器,是一種采用新的檢測(cè)原理的新型傳感器,它采用固定化的細(xì)胞、酶或者其他生物活性物質(zhì)與換能器相配合組成傳感器。這種傳感器是近年來(lái)生物醫(yī)學(xué)和電子學(xué)、工程學(xué)相互滲透而發(fā)展起來(lái)的一種新型的信息技術(shù)。這種傳感器的特點(diǎn)是機(jī)能高、壽命長(zhǎng)。在仿生傳感器中,比較常用的是生體模擬的傳感器。
仿生傳感器按照使用的介質(zhì)可以分為:酶?jìng)鞲衅?、微生物傳感器、?xì)胞器傳感器、組織傳感器等。在圖中我們可以看到,仿生傳感器和生物學(xué)理論的方方面面都有密切的聯(lián)系,是生物學(xué)理論發(fā)展的直接成果。在生體模擬的傳感器中,尿素傳感器是最近開發(fā)出來(lái)的一種傳感器。下面就以尿素傳感器為例子介紹仿生傳感器的應(yīng)用。
尿素傳感器,主要是由生體膜及其離子通道兩部分構(gòu)成。生體膜能夠感受外部刺激影響,離子通道能夠接收生體膜的信息,并進(jìn)行放大和傳送。當(dāng)膜內(nèi)的感受部位受到外部刺激物質(zhì)的影響時(shí),膜的透過性將產(chǎn)生變化,使大量的離子流入細(xì)胞內(nèi),形成信息的傳送。其中起重要作用的是生體膜的組成成分膜蛋白質(zhì),它能產(chǎn)生保形網(wǎng)絡(luò)變化,使膜的透過性發(fā)生變化,進(jìn)行信息的傳送及放大。生體膜的離子通道,由氨基酸的聚合體構(gòu)成,可以用有機(jī)化學(xué)中容易合成的聚氨酸的聚合物(L一谷氨酸,PLG)為替代物質(zhì),它比酶的化學(xué)穩(wěn)定性好。
PLG是水溶性的,本不適合電機(jī)的修飾,但PLG和聚合物可以合成嵌段共聚物,形成傳感器使用的感應(yīng)膜。生體膜的離子通道的原理基本上與生體膜一樣,在電極上將嵌段共聚膜固定后,如果加感應(yīng)PLG保性網(wǎng)絡(luò)變化的物質(zhì),就會(huì)使膜的透過性發(fā)生變化,從而產(chǎn)生電流的變化,由電流的變化,便可以進(jìn)行對(duì)刺激性物質(zhì)的檢測(cè)。尿素傳感器經(jīng)試驗(yàn)證明是穩(wěn)定性好的一種生體模擬傳感器,檢測(cè)下限為10的負(fù)3次方的數(shù)量級(jí),還可以檢測(cè)刺激性物質(zhì),但是暫時(shí)還不適合生體的計(jì)測(cè)。
目前,雖然已經(jīng)發(fā)展成功了許多仿生傳感器,但仿生傳感器的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性和可批量生產(chǎn)性明顯不足,所以仿生傳感技術(shù)尚處于幼年期,因此,以后除繼續(xù)開發(fā)出新系列的仿生傳感器和完善現(xiàn)有的系列之外,生物活性膜的固定化技術(shù)和仿生傳感器的固態(tài)化值得進(jìn)一步研究。
在不久的將來(lái),模擬生體功能的嗅覺、味覺、聽覺、觸覺仿生傳感器將出現(xiàn),有可能超過人類五官的敏感能力,完善目前機(jī)器人的視覺、味覺、觸覺和對(duì)目的物進(jìn)行操作的能力。我們能夠看到仿生傳感器應(yīng)用的廣泛前景,但這些都需要生物技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,我們拭目以待這一天的到來(lái)。
⒋紅外傳感器
紅外技術(shù)發(fā)展到現(xiàn)在,已經(jīng)為大家所熟知,這種技術(shù)已經(jīng)在現(xiàn)代科技、國(guó)防和工農(nóng)業(yè)等領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。紅外傳感系統(tǒng)是用紅外線為介質(zhì)的測(cè)量系統(tǒng),按照功能能夠分成五類:①輻射計(jì),用于輻射和光譜測(cè)量;②搜索和跟蹤系統(tǒng),用于搜索和跟蹤紅外目標(biāo),確定其空間位置并對(duì)它的運(yùn)動(dòng)進(jìn)行跟蹤;③熱成像系統(tǒng),可產(chǎn)生整個(gè)目標(biāo)紅外輻射的分布圖象;④紅外測(cè)距和通信系統(tǒng);⑤混合系統(tǒng),是指以上各類系統(tǒng)中的兩個(gè)或者多個(gè)的組合。
紅外系統(tǒng)的核心是紅外探測(cè)器,按照探測(cè)的機(jī)理的不同,可以分為熱探測(cè)器和光子探測(cè)器兩大類。下面以熱探測(cè)器為例子來(lái)分析探測(cè)器的原理。
熱探測(cè)器是利用輻射熱效應(yīng),使探測(cè)元件接收到輻射能后引起溫度升高,進(jìn)而使探測(cè)器中依賴于溫度的性能發(fā)生變化。檢測(cè)其中某一性能的變化,便可探測(cè)出輻射。多數(shù)情況下是通過熱電變化來(lái)探測(cè)輻射的。當(dāng)元件接收輻射,引起非電量的物理變化時(shí),可以通過適當(dāng)?shù)淖儞Q后測(cè)量相應(yīng)的電量變化。
⒌電磁傳感器
磁傳感器是最古老的傳感器,指南針是磁傳感器的最早的一種應(yīng)用。但是作為現(xiàn)代的傳感器,為了便于信號(hào)處理,需要磁傳感器能將磁信號(hào)轉(zhuǎn)化成為電信號(hào)輸出。應(yīng)用最早的是根據(jù)電磁感應(yīng)原理制造的磁電式的傳感器。這種磁電式傳感器曾在工業(yè)控制領(lǐng)域作出了杰出的貢獻(xiàn),但是到今天已經(jīng)被以高性能磁敏感材料為主的新型磁傳感器所替代。
在今天所用的電磁效應(yīng)的傳感器中,磁旋轉(zhuǎn)傳感器是重要的一種。磁旋轉(zhuǎn)傳感器主要由半導(dǎo)體磁阻元件、永久磁鐵、固定器、外殼等幾個(gè)部分組成。典型結(jié)構(gòu)是將一對(duì)磁阻元件安裝在一個(gè)永磁體的刺激上,元件的輸入輸出端子接到固定器上,然后安裝在金屬盒中,再用工程塑料密封,形成密閉結(jié)構(gòu),這個(gè)結(jié)構(gòu)就具有良好的可靠性。磁旋轉(zhuǎn)傳感器有許多半導(dǎo)體磁阻元件無(wú)法比擬一款電磁傳感器的外形的優(yōu)點(diǎn)。除了具備很高的靈敏度和很大的輸出信號(hào)外,而且有很強(qiáng)的轉(zhuǎn)速檢測(cè)范圍,這是由于電子技術(shù)發(fā)展的結(jié)果。另外,這種傳感器還能夠應(yīng)用在很大的溫度范圍中,有很長(zhǎng)的工作壽命、抗灰塵、水和油污的能力強(qiáng),因此耐受各種環(huán)境條件及外部噪聲。所以,這種傳感器在工業(yè)應(yīng)用中受到廣泛的重視。
磁旋轉(zhuǎn)傳感器在工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中有廣泛的應(yīng)用,因?yàn)檫@種傳感器有著令人滿意的特性,同時(shí)不需要維護(hù)。其主要應(yīng)用在機(jī)床伺服電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)檢測(cè)、工廠自動(dòng)化的機(jī)器人臂的定位、液壓沖程的檢測(cè)、工廠自動(dòng)化相關(guān)設(shè)備的位置檢測(cè)、旋轉(zhuǎn)編碼器的檢測(cè)單元和各種旋轉(zhuǎn)的檢測(cè)單元等?,F(xiàn)代的磁旋轉(zhuǎn)傳感器主要包括有四相傳感器和單相傳感器。在工作過程中,四相差動(dòng)旋轉(zhuǎn)傳感器用一對(duì)檢測(cè)單元實(shí)現(xiàn)差動(dòng)檢測(cè),另一對(duì)實(shí)現(xiàn)倒差動(dòng)檢測(cè)。這樣,四相傳感器的檢測(cè)能力是單元件的四倍。而二元件的單相旋轉(zhuǎn)傳感器也有自己的優(yōu)點(diǎn),也就是小巧可靠的特點(diǎn),并且輸出信號(hào)大,能檢測(cè)低速運(yùn)動(dòng),抗環(huán)境影響和抗噪聲能力強(qiáng),成本低。因此單相傳感器也將有很好的市場(chǎng)。
磁旋轉(zhuǎn)傳感器在家用電器中也有大的應(yīng)用潛力。在盒式錄音機(jī)的換向機(jī)構(gòu)中,可用磁阻元件來(lái)檢測(cè)磁帶的終點(diǎn)。家用錄像機(jī)中大多數(shù)有變速與高速重放功能,這也可用磁旋轉(zhuǎn)傳感器檢測(cè)主軸速度并進(jìn)行控制,獲得高畫面的質(zhì)量。洗衣機(jī)中的電機(jī)的正反轉(zhuǎn)和高低速旋轉(zhuǎn)功能都可以通過伺服旋轉(zhuǎn)傳感器來(lái)實(shí)現(xiàn)檢測(cè)和控制。這種開關(guān)可以感應(yīng)到進(jìn)入自己檢驗(yàn)區(qū)域的金屬物體,控制自己內(nèi)部電路的開或關(guān)。開關(guān)自己產(chǎn)生磁場(chǎng),當(dāng)有金屬物體進(jìn)入到磁場(chǎng)會(huì)引起磁場(chǎng)的變化。這種變化通過開關(guān)內(nèi)部電路可以變成電信號(hào)。
更加突出電磁傳感器是一門應(yīng)用很廣的高新技術(shù),國(guó)內(nèi)、國(guó)外都投入了一定的科研力量在進(jìn)行研究,這種傳感器的應(yīng)用正在滲透入國(guó)民經(jīng)濟(jì)、國(guó)防建設(shè)和人們?nèi)粘I畹母鱾€(gè)領(lǐng)域,隨著信息社會(huì)的到來(lái),其地位和作用必將。
⒍磁光效應(yīng)傳感器
現(xiàn)代電測(cè)技術(shù)日趨成熟,由于具有精度高、便于微機(jī)相連實(shí)現(xiàn)自動(dòng)實(shí)時(shí)處理等優(yōu)點(diǎn),已經(jīng)廣泛應(yīng)用在電氣量和非電氣量的測(cè)量中。然而電測(cè)法容易受到干擾,在交流測(cè)量時(shí),頻響不夠?qū)捈皩?duì)耐壓、絕緣方面有一定要求,在激光技術(shù)迅速發(fā)展的今天,已經(jīng)能夠解決上述的問題。
磁光效應(yīng)傳感器就是利用激光技術(shù)發(fā)展而成的高性能傳感器。激光,是本世紀(jì)六十年代初迅速發(fā)展起來(lái)的又一新技術(shù),它的出現(xiàn)標(biāo)志著人們掌握和利用光波進(jìn)入了一個(gè)新的階段。由于以往普通光源單色度低,故很多重要的應(yīng)用受到限制,而激光的出現(xiàn),使無(wú)線電技術(shù)和光學(xué)技術(shù)突飛猛進(jìn)、相互滲透、相互補(bǔ)充。現(xiàn)在,利用激光已經(jīng)制成了許多傳感器,解決了許多以前不能解決的技術(shù)難題,使它適用于煤礦、石油、天然氣貯存等危險(xiǎn)、易燃的場(chǎng)所。
比如說用激光制成的光導(dǎo)纖維傳感器,能測(cè)量原油噴射、石油大罐龜裂的情況參數(shù)。在實(shí)測(cè)地點(diǎn),不必電源供電,這對(duì)于安全防爆措施要求很嚴(yán)格的石油化工設(shè)備群尤為適用,也可用來(lái)在大型鋼鐵廠的某些環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)光學(xué)方法的遙測(cè)化學(xué)技術(shù)。
磁光效應(yīng)傳感器的原理主要是利用光的偏振狀態(tài)來(lái)實(shí)現(xiàn)傳感器的功能。當(dāng)一束偏振光通過介質(zhì)時(shí),若在光束傳播方向存在著一個(gè)外磁場(chǎng),那么光通過偏振面將旋轉(zhuǎn)一個(gè)角度,這就是磁光效應(yīng)。也就是可以通過旋轉(zhuǎn)的角度來(lái)測(cè)量外加的磁場(chǎng)。在特定的試驗(yàn)裝置下,偏轉(zhuǎn)的角度和輸出的光強(qiáng)成正比,通過輸出光照射激光二極管LD,就可以獲得數(shù)字化的光強(qiáng),用來(lái)測(cè)量特定的物理量。
自六十年代末開始,RCLecraw提出有關(guān)磁光效應(yīng)的研究報(bào)告后,引起大家的重視。日本,蘇聯(lián)等國(guó)家均開展了研究,國(guó)內(nèi)也有學(xué)者進(jìn)行探索。磁光效應(yīng)的傳感器具有優(yōu)良的電絕緣性能和抗干擾、頻響寬、響應(yīng)快、安全防爆等特性,因此對(duì)一些特殊場(chǎng)合電磁參數(shù)的測(cè)量,有獨(dú)特的功效,尤其在電力系統(tǒng)中高壓大電流的測(cè)量方面、更顯示它潛在的優(yōu)勢(shì)。同時(shí)通過開發(fā)處理系統(tǒng)的軟件和硬件,也可以實(shí)現(xiàn)電焊機(jī)和機(jī)器人控制系統(tǒng)的自動(dòng)實(shí)時(shí)測(cè)量。
在磁光效應(yīng)傳感器的使用中,最重要的是選擇磁光介質(zhì)和激光器,不同的器件在靈敏度、工作范圍方面都有不同的能力。隨著近幾十年來(lái)的高性能激光器和新型的磁光介質(zhì)的出現(xiàn),磁光效應(yīng)傳感器的性能越來(lái)越強(qiáng),應(yīng)用也越來(lái)越廣泛。磁光效應(yīng)傳感器做為一種特定用途的傳感器,能夠在特定的環(huán)境中發(fā)揮自己的功能,也是一種非常重要的工業(yè)傳感器。
⒎壓力傳感器
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中最為常用的一種傳感器,而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,這樣的傳感器也稱為壓電傳感器。
我們知道,晶體是各向異性的,非晶體是各向同性的。某些晶體介質(zhì),當(dāng)沿著一定方向受到機(jī)械力作用發(fā)生變形時(shí),就產(chǎn)生了極化效應(yīng);當(dāng)機(jī)械力撤掉之后,又會(huì)重新回到不帶電的狀態(tài),也就是受到壓力的時(shí)候,某些晶體可能產(chǎn)生出電的效應(yīng),這就是所謂的極化效應(yīng)??茖W(xué)家就是根據(jù)這個(gè)效應(yīng)研制出了壓力傳感器。
壓電傳感器中主要使用的壓電材料包括有石英、酒石酸鉀鈉和磷酸二氫胺。其中石英(二氧化硅)是一種天然晶體,壓電效應(yīng)就是在這種晶體中發(fā)現(xiàn)的,在一定的溫度范圍之內(nèi),壓電性質(zhì)一直存在,但溫度超過這個(gè)范圍之后,壓電性質(zhì)完全消失(這個(gè)高溫就是所謂的“居里點(diǎn)”)。由于隨著應(yīng)力的變化電場(chǎng)變化微小(也就說壓電系數(shù)比較低),所以石英逐漸被其他的壓電晶體所替代。而酒石酸鉀鈉具有很大的壓電靈敏度和壓電系數(shù),但是它只能在室溫和濕度比較低的環(huán)境下才能夠應(yīng)用。磷酸二氫胺屬于人造晶體,能夠承受高溫和相當(dāng)高的濕度,所以已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。在現(xiàn)在壓電效應(yīng)也應(yīng)用在多晶體上,比如現(xiàn)在的壓電陶瓷,包括鈦酸鋇壓電陶瓷、PZT、鈮酸鹽系壓電陶瓷、鈮鎂酸鉛壓電陶瓷等等。
壓電效應(yīng)是壓電傳感器的主要工作原理,壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量,因?yàn)榻?jīng)過外力作用后的電荷,只有在回路具有無(wú)限大的輸入阻抗時(shí)才得到保存。實(shí)際的情況不是這樣的,所以這決定了壓電傳感器只能夠測(cè)量動(dòng)態(tài)的應(yīng)力。
壓電傳感器主要應(yīng)用在加速度、壓力和力等的測(cè)量中。壓電式加速度傳感器是一種常用的加速度計(jì)。它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)異的特點(diǎn)。壓電式加速度傳感器在飛機(jī)、汽車、船舶、橋梁和建筑的振動(dòng)和沖擊測(cè)量中已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用,特別壓電傳感器的外形是航空和宇航領(lǐng)域中更有它的特殊地位。也可以用來(lái)測(cè)量發(fā)動(dòng)機(jī)內(nèi)部燃燒壓力的測(cè)量與真空度的測(cè)量。也可以用于軍事工業(yè),例如用它來(lái)測(cè)量槍炮子彈在膛中擊發(fā)的一瞬間的膛壓的變化和炮口的沖擊波壓力。
它既可以用來(lái)測(cè)量大的壓力,也可以用來(lái)測(cè)量微小的壓力。壓電式傳感器也廣泛應(yīng)用在生物醫(yī)學(xué)測(cè)量中,比如說心室導(dǎo)管式微音器就是由壓電傳感器制成的,因?yàn)闇y(cè)量動(dòng)態(tài)壓力是如此普遍,所以壓電傳感器的應(yīng)用就非常廣泛。除了壓電傳感器之外,還有利用壓阻效應(yīng)制造出來(lái)的壓阻傳感器,利用應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)變式傳感器等,這些不同的壓力傳感器利用不同的效應(yīng)和不同的材料,在不同的場(chǎng)合能夠發(fā)揮它們獨(dú)特的用途。
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