MEMS產(chǎn)品早在1980年就已經(jīng)存在了，與使用了CMOS工藝的一般半導(dǎo)體相比，因?yàn)榫A制成非常復(fù)雜，包裝也很耗功夫，使得工程標(biāo)準(zhǔn)化和低成本變得十分困難，所以只應(yīng)用于限定用途。但是，最近確定了批量生產(chǎn)小型、高性能的MEMS產(chǎn)品的技術(shù)，除了汽車發(fā)動(dòng)機(jī)控制、醫(yī)療器械、噴墨打印機(jī)這些常用用途，數(shù)碼相機(jī)和智能手機(jī)這寫 隨身攜帶的電子產(chǎn)品里也使用了很多的MEMS產(chǎn)品。MEMS產(chǎn)品今后將持續(xù)每年10-15%的增長(zhǎng)率，并可預(yù)測(cè)在2017年的時(shí)候?qū)默F(xiàn)在的9200億日元增長(zhǎng)到17000億日元。（Yole Development公司預(yù)測(cè)）

所有東西的運(yùn)動(dòng)都是X、Y、Z軸平行的運(yùn)動(dòng)和圍繞軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，共表現(xiàn)為6個(gè)運(yùn)動(dòng)組合。根據(jù)平行運(yùn)動(dòng)（平移加速度）傳感的加速度傳感器、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)（角速度）傳感的陀螺儀產(chǎn)品系列，應(yīng)用于依賴高精度運(yùn)動(dòng)傳感和高可靠性的特征的汽車、輪船的姿態(tài)控制、產(chǎn)業(yè)用裝置的傾斜測(cè)定、醫(yī)療用途等等。
 
本文將介紹生產(chǎn)具有高精度、高可靠性的傳感器的獨(dú)特技術(shù)的3D-MEMS和同時(shí)兼具高精度和高可靠性的加速度傳感器以及陀螺儀的特征。
 
3D-MEMS技術(shù)

使用了3D-MEMS技術(shù)的元件示例說(shuō)明（圖1）。MEMS元件是由可移動(dòng)部構(gòu)成的硅晶片和夾在部上下用于結(jié)合、密封的CAP晶圓構(gòu)成。可移動(dòng)部的紡錘和梳型電極框架用彈簧支撐、紡錘和梳型電極的運(yùn)動(dòng)通過(guò)CAP晶圓間或者梳型電極之間的電容值的變化來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。村田制作所將凝聚了實(shí)現(xiàn)了高精準(zhǔn)度檢測(cè)的3D-NEMS技術(shù)的平臺(tái)擴(kuò)大到所有產(chǎn)品中，使得有可能為具有穩(wěn)定性和高信賴性的傳感器提供一個(gè)合理的價(jià)格。下面介紹3D-MEMS技術(shù)的強(qiáng)大特征。

高度絕緣、低寄生電容的獨(dú)特VIA結(jié)構(gòu)

 從MEMS結(jié)構(gòu)部分的引出電極最早作為VIA結(jié)構(gòu)進(jìn)行量產(chǎn)。硅形成的引出電極的間為玻璃絕緣的獨(dú)特VIA結(jié)構(gòu)，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了電極間的高絕緣電阻和低寄生容量、為傳感器的高精度化、高穩(wěn)定性、低消耗電流的實(shí)現(xiàn)做出了巨大的貢獻(xiàn)。此外，在任何場(chǎng)所都可能實(shí)現(xiàn)電極導(dǎo)出的VIA的結(jié)構(gòu)，為允許元件的設(shè)計(jì)自由度和元件的小型化做出了貢獻(xiàn)。

高精度的空間控制技術(shù)創(chuàng)造出高感度和小型化

3D-MEMS結(jié)構(gòu)的另一個(gè)重點(diǎn)是，可移動(dòng)部?jī)烧唛g形成2.5µm的狹小空間、使高精度的容量測(cè)量成為可能。通過(guò)高精度的拋光蝕刻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了達(dá)到極限的增高的晶圓的平坦性和后述的高精度的晶圓結(jié)合技術(shù)。這個(gè)技術(shù)可高精度檢測(cè)出移動(dòng)部的上下方向移動(dòng)，為元件的高性能化和小型化做出貢獻(xiàn)。

實(shí)現(xiàn)高可靠性的原子級(jí)密封

可移動(dòng)部和CAP晶圓通過(guò)玻璃和硅的陽(yáng)極結(jié)合或者硅和氧化硅的直接結(jié)合在晶圓級(jí)結(jié)合。無(wú)論哪種接合，都是為了加強(qiáng)固定原子之間的接合，為紡錘運(yùn)動(dòng)空間的空氣密封以及高可靠性做出了貢獻(xiàn)。另外，一般的晶圓接合中，以元件為單位的接合不良情況時(shí)有發(fā)生，村田運(yùn)用多種方式對(duì)所有產(chǎn)品進(jìn)行嚴(yán)格檢查，只有合格的產(chǎn)品才可出貨。

圖1：3D-MEMS技術(shù)特征
 

高精度、高可靠性是MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中一貫徹底堅(jiān)持的。下面將列舉加速度傳感器和陀螺儀的設(shè)計(jì)，并且介紹其中的一部分。
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加速度傳感器

加速度傳感器的原理是用彈簧支撐的紡錘隨著加速度而運(yùn)動(dòng)，將這種運(yùn)動(dòng)和紡錘體之間的容量值的變化以電氣形式檢測(cè)出來(lái)。村田用了4個(gè)紡錘的獨(dú)特結(jié)構(gòu)才實(shí)現(xiàn)此功能。對(duì)于使用了4個(gè)紡錘所測(cè)量出的X、Y、Z3個(gè)軸的加速度情報(bào)，可以得到其中一個(gè)自由度最大的情報(bào)。通過(guò)這個(gè)自由度可實(shí)現(xiàn)平時(shí)的自我診斷功能。因此，高信賴性已經(jīng)成為必要的車載傳感器的必要條件。

圖2：加速度傳感器


圖3：加速度傳感器元件的結(jié)構(gòu)

圖4：加速度傳感器的特性圖
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陀螺儀

村田的陀螺儀可以檢測(cè)直線運(yùn)動(dòng)的物體在直行軸周圍的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)所受的力=科里奧利力?？评飱W利力很小，MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的重點(diǎn)在于怎樣取消外在的干擾。同時(shí)，村田還準(zhǔn)備了很精彩的解決方案。

實(shí)現(xiàn)了高精度的獨(dú)特結(jié)構(gòu)在細(xì)彈簧上面綁上的兩個(gè)紡錘進(jìn)行逆向運(yùn)動(dòng)，紡錘4來(lái)獲得情報(bào)。通過(guò)演算這4個(gè)信號(hào)，去除所有方向的平行加速度、旋轉(zhuǎn)加速度，能獲得純粹的科里奧利力。

圖5：陀螺儀


圖6：陀螺儀的結(jié)構(gòu)圖


圖7：陀螺儀特性圖

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組合傳感器

特別在汽車市場(chǎng)，為了更高精度的控制，將陀螺儀信號(hào)和加速度傳感器的信號(hào)組合起來(lái)的需求有很多。以此為背景，諸如防側(cè)滑制動(dòng)系統(tǒng)（ESC），防抱死制動(dòng)系統(tǒng)（ABS）、輪胎壓力檢測(cè)系統(tǒng)（TPMS）此類的安全功能以發(fā)達(dá)國(guó)家為中心新車裝載法制化正在被推進(jìn)，電動(dòng)駐車制動(dòng)器（EPB）、坡道起步輔助系統(tǒng)（HAS）這樣的新功能也陸續(xù)活躍起來(lái)。村田制作所將這兩個(gè)傳感器組合在一個(gè)傳感器中，為了應(yīng)對(duì)未來(lái)的新需求，我們將繼續(xù)擴(kuò)大產(chǎn)品的陣容。

圖8：組合陀螺儀傳感器


圖9：組合陀螺儀傳感器結(jié)構(gòu)圖

村田制作所的MEMS傳感器以高精度、高可靠性為必要用途進(jìn)行設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)，這個(gè)想法不僅體現(xiàn)在本文介紹的制作過(guò)程和MEMS的設(shè)計(jì)中，還徹底貫徹于ASIC設(shè)計(jì)及包裝設(shè)計(jì)中。其結(jié)果是，可以充分應(yīng)對(duì)車、輪船、產(chǎn)業(yè)用設(shè)備和醫(yī)療用途等的嚴(yán)格要求。

MEMS今后可能將被適用于更廣泛用途的高科技技術(shù)。村田制作所將MEMS作為將來(lái)領(lǐng)先技術(shù)的一種，持續(xù)向市場(chǎng)提供最高端的MEMS商品，不斷強(qiáng)化開(kāi)發(fā)體制和對(duì)客戶的支持。