近日,國產(chǎn)SiC設(shè)備又傳來了振奮人心的消息:北京中電科電子裝備有限公司的SiC晶錠和晶片減薄機(jī)實(shí)現(xiàn)了6/8英寸大尺寸和新工藝路線匹配的雙技術(shù)突破。
據(jù)了解,該技術(shù)已經(jīng)在SiC襯底制備段及器件背面減薄段實(shí)現(xiàn)了小批量應(yīng)用,并且獲得了頭部企業(yè)的一致認(rèn)可,而且新的減薄機(jī)協(xié)調(diào)SiC激光改質(zhì)剝離切割技術(shù),可以大幅度的降低SiC襯底成本。
碳化硅(SiC)是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要基礎(chǔ)材料?!丁笆奈濉币?guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》提出,我國將加速推動(dòng)以SiC、 GaN為主的第三代半導(dǎo)體新材料、新技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。碳化硅產(chǎn)業(yè)發(fā)展被列入十四五規(guī)劃以來,就一直處于風(fēng)口浪尖狀態(tài)。
產(chǎn)業(yè)和政策共同拉動(dòng)碳化硅技術(shù)的發(fā)展,其能夠在廣泛的應(yīng)用中提供顯著的性能,同時(shí)與傳統(tǒng)硅技術(shù)相比,減少了提供同等性能所需的能量和物理空間。碳化硅部署在各種各樣的使用場(chǎng)景中,SiC適合高功率和高頻率應(yīng)用場(chǎng)景,如智能電網(wǎng)、工業(yè)控制、新能源汽車、儲(chǔ)能和充電樁等行業(yè)。
在智能電網(wǎng)領(lǐng)域,傳統(tǒng)電網(wǎng)正向智能電網(wǎng)轉(zhuǎn)型,智能化電網(wǎng)設(shè)備以及優(yōu)良器件的應(yīng)用是實(shí)現(xiàn)集智能、靈活、互動(dòng)、兼容、高效等多功能于一體的關(guān)鍵。碳化硅功率器件在高溫下具有較高的穩(wěn)定性與可靠性,可以確保電力系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行。
在工業(yè)控制中,基于SiC的功率半導(dǎo)體器件可在高溫、高壓、高頻、強(qiáng)輻射等極端環(huán)境下工作,性能優(yōu)勢(shì)突出。不但可以降低驅(qū)動(dòng)器的體積重量和損耗、減少音頻噪聲,還能提高功率密度和電機(jī)相應(yīng)性能,其獨(dú)特的性能使其成為大功率工業(yè)驅(qū)動(dòng)器中的電力電子材料的首選。
在新能源汽車領(lǐng)域,碳化硅功率器件可以提供更高功率密度和更高的效率,從而提高電池續(xù)航里程和減少能源消耗。對(duì)于新能源汽車來說,SiC具有高性能尺寸比、耐高溫、抗輻射等優(yōu)勢(shì),能夠滿足對(duì)電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的需求,幫助系統(tǒng)減少尺寸、降低重量、提高系統(tǒng)可靠性。
在儲(chǔ)能和充電樁中,SiC技術(shù)能極大地降低儲(chǔ)能應(yīng)用成本,儲(chǔ)能系統(tǒng)中包含了電源、DC/DC轉(zhuǎn)換器、逆變器等等,碳化硅技術(shù)在這種配置下的電源模塊中可以達(dá)到減少成本、重量、尺寸的目的,同時(shí)還可以提高電源模塊的效率。SiC能夠承受更高的電壓(1700V到2000V),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)超級(jí)快充功能的支持,從而可以提高能量轉(zhuǎn)換效率并減小產(chǎn)品體積。
隨著國內(nèi)新能源市場(chǎng)的迅猛發(fā)展,碳化硅功率器的需求呈井噴式爆發(fā),其高效率、高穩(wěn)定、高可靠等特性可以滿足充電樁的需求。目前來看,特斯拉等國外公司已經(jīng)開始大規(guī)模布局碳化硅車型,而國內(nèi)的廠商也在迅速跟進(jìn),以比亞迪為代表的整車廠商已經(jīng)開始全面布局,將碳化硅技術(shù)應(yīng)用到充電樁以及整車中。充電樁也有越來越多的新企業(yè)加入到了這個(gè)市場(chǎng)中,市場(chǎng)的容量在不斷地?cái)U(kuò)大。
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