【導讀】MEMS超聲波換能器芯片PMUT區(qū)別于傳統(tǒng)的壓電陶瓷超聲波傳感器，其體積僅為其1/4，功耗也大幅降低，并且MEMS超聲波傳感器不同于光學TOF傳感器，其能夠在強光霧霾天氣中使用，對于明暗，透明物體皆可實現(xiàn)測量。在掃地機器人、工業(yè)機器人、駕駛輔助、無人機、玩具避障、閘機門控等眾多場景中具有廣泛的應用前景。
壓電微機械超聲換能器（Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer，PMUT）是一類通過壓電材料的正逆壓電效應使壓電薄膜振動，從而發(fā)射或者接收超聲波信號的MEMS器件。當PMUT用于發(fā)射超聲波時，它是一個執(zhí)行器；當PMUT用于接收超聲波時，它是一個傳感器。
在商業(yè)化產品中，完全相同的PMUT器件可以承擔兩個相對立的功能，這使得PMUT器件從設計到生產、封裝、測試、系統(tǒng)化的成本得到極大的降低。而MEMS標準工藝批量化生產和晶圓級封裝的大規(guī)模應用，使得PMUT非常適合商業(yè)化應用。
MEMS超聲波換能器芯片PMUT區(qū)別于傳統(tǒng)的壓電陶瓷超聲波傳感器，其體積僅為其1/4，功耗也大幅降低，并且MEMS超聲波傳感器不同于光學TOF傳感器，其能夠在強光霧霾天氣中使用，對于明暗，透明物體皆可實現(xiàn)測量。在掃地機器人、工業(yè)機器人、駕駛輔助、無人機、玩具避障、閘機門控等眾多場景中具有廣泛的應用前景。
敏芯股份作為國內屈指可數(shù)掌握多品類MEMS芯片設計和制造工藝能力企業(yè)，可提供高端定制化的基于PMUT的TOF模組。通過基于SOI晶圓的半導體加工工藝制造，實現(xiàn)底電極/壓電層/頂電極的三明治結構用作驅動和接收構件，發(fā)送升壓后的脈沖串來驅動此器件在諧振頻率工作，通過計時發(fā)出脈沖和回收脈沖的時間差，來計算與障礙物的距離。
同時，敏芯股份提供了基于PMUT的TOF測距模組的驅動和控制電路，可減少開發(fā)者的開發(fā)難度，加快開發(fā)進程。
常見應用
車載系統(tǒng)：
測距離是超聲器件的重要應用，高頻超聲波抗干擾能力強，傳播距離遠，非常適合測距應用?，F(xiàn)有的安裝于汽車上的倒車雷達，一般就是前后各四顆，但是這四顆倒車雷達普遍有體積大、成本高的缺點。而PMUT的封裝后尺寸都不會超過10mm，設想一種場景，如果使用PMUT陣列來做距離檢測，小尺寸高密度的排布，不僅可以做到在不超過現(xiàn)有倒車雷達成本的條件下全車無盲區(qū)檢測，甚至可以完整建立環(huán)繞全車的超聲成像以輔助智能駕駛系統(tǒng)。
掃地機器人：
避障檢測就是以超聲傳感器和紅外光電傳感器相結合來完成的。因成本問題，主流掃地機器人的超聲雷達數(shù)量都在個位數(shù)。因此，掃地機器人的避障檢測和尋跡問題依然突出，被卡住、錯誤判斷等都是超聲雷達檢測精度不夠高造成的。
PMUT在掃地機器人上的商業(yè)化應用是一個非常有價值的切入點，其低成本和小體積、高精度的優(yōu)點可以滿足掃地機器人這類需要進一步提高檢測分辨率的應用場景。
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